1. 化工設(shè)備

儲罐/反應(yīng)釜：

濃硫酸儲罐提供鋼襯四氟內(nèi)襯，使用壽命從2年延長至10年，年維護成本降低70%。

管道/閥門：

DN200鹽酸輸送管道采用PFA內(nèi)襯，耐受120℃熱酸，杜絕泄漏風(fēng)險。

2. 半導(dǎo)體設(shè)備

濕法工藝槽：

12英寸晶圓清洗槽內(nèi)襯，耐氫氟酸/SC1溶液，顆粒釋放量＜5pcs/mL。

高純水系統(tǒng)：

UPW超純水儲罐PFA內(nèi)襯，TOC析出＜0.1ppb，滿足G5級水質(zhì)要求。